将近有半个篮球场的大小。
一眼望去,可以看到实验室内数位研究员在各台仪器前紧张的忙碌着。
“主任好。”
“主任好。”
几位年轻的研究员助理见到张主任进来,客气的打招呼。
张主任点点头,然后摆摆手,“你们接着忙,接着忙。”cvd那边吧。”张主任压低声音,询问顾律。
顾律点头一笑。
张主任带着顾律来到一台一个高的长方形设备面前。
cvd了!”张主任拍拍设备外面的铁壳,笑着为顾律介绍。
顾律上下打量了这台设备一番。cvd,是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
该设备以3族、2族元素的有机化合物和v、6族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种3v主族、26副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
上面说的有些复杂。
简单来理解的话,就是通过这台ocvd设备,可以将有机化合物和氢化物,合称为实验室所需的gan宽禁带半导体。