因为三氧化二铝这个东西,实在是太硬了啊!
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末,硬度也不会减少。在抛光过程中,肯定会对硅晶片造成损伤。
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抛光磨料硬度越高,对应的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。
他想,他已经知道,为什么使用新设备抛光后的硅晶片,在精度方面一直达不到要求了。
“抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼,开口说道。
“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗,我之前在国营大厂里,一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。
顾律笑着开口解释,“对于那些精度不高的硅晶片,使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题,因为制备简单,成本还低,但对于高精度抛光机,这种高硬度的抛光磨料,就明显不适用了。”
“那顾先生,我们应该用哪种,当做纳米磨料?”张经理问。
“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。
“二氧化铈?”张经理眉头皱起。
“你们这没有这种抛光液?”顾律问。
“呃……没有。”林经理老老实实的回答。
老实说,这种抛光液,在国内都不常见。
“那你们这瓶三氧化二铝抛光液,是从外面买过来的,还是自己制备的?”顾律接着问。
林经理开口,“我们自己做的,我们有一条专门的生产线。”