夜谈。

根据光刻机制造需满足“设备精度＞客户制程精度”的铁律：若设备厂洁净度低于晶圆厂，组装的机器将自带缺陷。

光刻机制造容许的微粒尺寸比晶圆厂还要低，另外还需要防微震，恒温恒湿系统。

零零散散算下来，一个2000平米的洁净厂房，加上测量实验室，装配线设备，镜片/激光管等消耗品备件

被肖敏压着的祁红，一张俏脸被憋的通红，但，她身上的是肖敏，肖敏的身体还没养好，她一动不敢动。