第226章 含硅光阻与高考!(3 / 5)

“比如加入一些别的材料硅材料或碳材料”钟子星双手扶着白『色』的实验台,陷入沉思。

以传统的方式进入光刻胶领域,想要超越深耕此道数十年的老牌巨头显然是不现实的,得走一走别的路才行。

“试试看,开始第21次实验”

科研就是在失败中前进,没有人能形容找到路时那种心情,重要的是敢于尝试。

“好”江浩然话不多,能动手绝不多说。

两人加上数个助理立刻开始投入新的实验,在光刻胶中加入其他材料,无论是光敏强或弱,都在试验范围之内。

把含硅光刻胶旋涂在一层较厚的聚合物材料,设想中,其对光是不敏感的。

“曝光显影,用氧等离子体刻蚀,把光刻胶上的图形转移到聚合材料上。”

“行”

一次次实验成功失败,对如何做好光刻胶有了更深的了解,他们逐渐发现,如果含硅光刻胶旋涂在一层较厚的聚合物材料上,在同等条件下,刻蚀选择『性』提高了不止一个档次。

“继续”实验室内几人的心一下子提了上来。

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